无锡丹佛智能装备科技有限公司
项目 : 软片搬运机器人
- 客户:Cybogragh
- 基本规格
· 工件:200/300mm Wafer
· Tact Time:Within 5.5 秒
· Wafer Pass Line:1,000 mm
· 升降行程:700 mm
· 旋转角度:0~340°
· 臂长:700 mm
· 机械手类型:双
- 主供设备
· 机器人:1 套
· 导轨系统
· 玻璃机械手
· 存放单元